薄膜厚度是否均勻一致是檢測薄膜各項(xiàng)性能的基礎(chǔ)。很顯然，倘若一

批單層薄膜厚度不均勻，不但會(huì)影響到薄膜各處的拉伸強(qiáng)度、阻隔性等

，更會(huì)影響薄膜的后續(xù)加工。對于復(fù)合薄膜，厚度的均勻性更加重要，

只有整體厚度均勻，每一層樹脂的厚度才可能均勻。因此，薄膜厚度是

否均勻，是否與預(yù)設(shè)值一致，厚度偏差是否在的范圍內(nèi)，這些都成

為薄膜是否能夠具有某些特性指標(biāo)的前提。薄膜厚度測量是薄膜制造業(yè)

的基礎(chǔ)檢測項(xiàng)目之一。

1. 各種在線和非在線測厚技術(shù)發(fā)展快速

包裝材料厚度的測試zui早用于薄膜厚度測量的是非在線測厚技術(shù)。

之后，隨著射線技術(shù)的不斷發(fā)展逐漸研制出與薄膜生產(chǎn)線安裝在一起的

在線測厚設(shè)備。上個(gè)世紀(jì)60年代在線測厚技術(shù)就已經(jīng)有了廣泛的應(yīng)用，

現(xiàn)在更能夠檢測薄膜某一涂層的厚度。同時(shí)，非在線測厚技術(shù)也有了長

足的發(fā)展，各種非在線測試技術(shù)紛紛興起。在線測厚技術(shù)與非在線測厚

技術(shù)在測試原理上*不同，在線測厚技術(shù)一般采用射線技術(shù)等非接觸

式測量法，非在線測厚技術(shù)一般采用機(jī)械測量法或者基于電渦流技術(shù)或

電磁感應(yīng)原理的測量法，也有采用光學(xué)測厚技術(shù)、超聲波測厚技術(shù)的。

2. 在線測厚較為常見的在線測厚技術(shù)有β射線技術(shù)，X射線技術(shù)和

近紅外技術(shù)。

2.1 β射線技術(shù) 
β射線技術(shù)是zui先應(yīng)用于在線測厚技術(shù)上的射線技術(shù)，在上世紀(jì)60

年代就已經(jīng)廣泛用于超薄薄膜的在線厚度測量了。它對于測量物沒有要

求，但β傳感器對溫度和大氣壓的變化、以及薄膜上下波動(dòng)敏感，設(shè)備

對于輻射保護(hù)裝置要求很高，而且信號源更換費(fèi)用昂貴，Pm147源可用

5-6年，Kr85源可用10年，更換費(fèi)用均在6000美元左右。

2.2 X射線技術(shù)
這種技術(shù)極少為塑料薄膜生產(chǎn)線所采用。X光管壽命短，更換費(fèi)用

昂貴，一般可用2-3年，更換費(fèi)用在5000美元左右，而且不適用于測量

由多種元素構(gòu)成的聚合物，信號源放射性強(qiáng)。X射線技術(shù)常用于鋼板等

單一元素的測量。

2.3 近紅外技術(shù)
近紅外技術(shù)在在線測厚領(lǐng)域的應(yīng)用曾受到條紋干涉現(xiàn)象的影響，但

現(xiàn)在近紅外技術(shù)已經(jīng)突破了條紋干涉現(xiàn)象對于超薄薄膜厚度測量的限制

，*可以進(jìn)行多層薄膜總厚度的測量，并且由于紅外技術(shù)自身的特點(diǎn)

，還可以在測量復(fù)合薄膜總厚度的同時(shí)給出每一層材料的厚度。近紅外

技術(shù)可用于雙向拉伸薄膜、流延膜和多層共擠薄膜，信號源無放射性，

設(shè)備維護(hù)難度相對較低。

2.4 在線測厚設(shè)備的應(yīng)用情況
在線測厚能夠以zui快的速度獲取厚度測試數(shù)據(jù)，通過數(shù)據(jù)分析，及

時(shí)調(diào)整生產(chǎn)線的參數(shù)，縮短開車時(shí)間。但是在線測厚設(shè)備必須配備與生

產(chǎn)線相匹配的掃描架，這在一定程度上限制了在線測厚設(shè)備的重復(fù)利用

。而且由于薄膜生產(chǎn)線往往需要長期連續(xù)工作，因此相應(yīng)的在線測厚設(shè)

備也就必須長期連續(xù)工作。在設(shè)備的價(jià)格上，在線測試設(shè)備一般要比非

在線測試設(shè)備貴很多，而且前者的運(yùn)行費(fèi)用與維護(hù)費(fèi)用也比較高。

3. 非在線測厚

非在線測厚技術(shù)主要有—接觸式測量法和非接觸式測量法兩類，接

觸式測量法主要是機(jī)械測量法，非接觸式測量法包括光學(xué)測量法、電渦

流測量法、超聲波測量法等。由于非在線測厚設(shè)備價(jià)格便宜、體積小等

原因，應(yīng)用領(lǐng)域廣闊。

3.1 渦流測厚儀和磁性測厚儀
渦流測厚儀和磁性測厚儀一般都是小型便攜式設(shè)備，分別利用了電

渦流原理和電磁感應(yīng)原理。于各種特定涂層厚度的測量，用于測量

薄膜、紙張的厚度時(shí)有出現(xiàn)誤差的可能。

3.2 超聲波測厚儀
超聲波測厚儀也多是小型便攜式設(shè)備，利用超聲波反射原理，可測

金屬、塑料、陶瓷、玻璃以及其它任何超聲波良導(dǎo)體的厚度?？稍诟邷?/p>

下工作，這是很多其它類型的測厚儀所不具備的，但對檢測試樣的種類

具有選擇性。

3.3 光學(xué)測厚儀
從測試原理上來說光學(xué)測厚儀可達(dá)到*的測試精度，但是這類測

厚儀在使用及維護(hù)上要求*：必須遠(yuǎn)離振源；嚴(yán)格防塵；專業(yè)操作及

維護(hù)等。使用范圍較窄，僅適用于復(fù)合層數(shù)較少的復(fù)合膜。

3.4 機(jī)械測厚儀
機(jī)械測厚儀可以分為點(diǎn)接觸式和面接觸式兩類，是一種接觸式測厚

方法，它與非接觸式測厚方法有著本質(zhì)的區(qū)別——能夠在進(jìn)行厚度測量

前給試樣測量表面施加一定的壓力（點(diǎn)接觸力或面接觸力），這樣可以

避免在使用非接觸式測厚儀測量那些具有一定壓縮性、表面高低不平的

材料時(shí)可能出現(xiàn)數(shù)據(jù)波動(dòng)較大的現(xiàn)象。機(jī)械測厚儀采用zui傳統(tǒng)的測厚方

法，數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠，對試樣沒有選擇性。由于機(jī)械測厚儀的測試精度主

要取決于測厚元件的精度，所以市場上的機(jī)械測厚儀的測試精度參差不

齊。此外，機(jī)械測厚儀的核心元件——測量頭及測量面——對于微小的

振動(dòng)都十分敏感，所以在有振源的環(huán)境中測量精度沒有任何意義。為了

避免自身的振動(dòng)，并盡可能地減少外界振動(dòng)的影響，設(shè)備底座都采用重

而寬的金屬制成，這在一定程度上保證了測厚精度，卻也給機(jī)械測厚儀

的小型化和輕便化帶來了很大的困難。環(huán)境溫度和風(fēng)速同樣可以影響傳

感器的精度，因此必須在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境內(nèi)使用。上制定了很多關(guān)于機(jī)

械式測厚設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)（這在包裝材料測厚領(lǐng)域內(nèi)是比較罕見的，其它類

型的測厚設(shè)備少有標(biāo)準(zhǔn)的支持），ISO 534：1988，ISO 4593：1993，

ASTM D 645-97，GB/T6672-2001等。
需要指出的是，常見的機(jī)械測厚儀有點(diǎn)接觸式測厚儀和面接觸式測

厚儀兩類，由于測量頭與試樣的接觸面積不同，測量頭的施力不同，施

力速度不同，相同的試樣（這里假設(shè)厚度均勻一致）使用這兩類測厚儀

很可能得到不同的測試結(jié)果，這主要是由于可壓縮試樣在不同的情況下

產(chǎn)生的形變率往往不相同。因此，在選擇機(jī)械測厚儀測試時(shí)必須嚴(yán)格執(zhí)

行所參照標(biāo)準(zhǔn)的測試條件和測試要求。